Преимущества сканирующего электронного микроскопа
1. Коэффициент увеличения
Благодаря фиксированному размеру флуоресцентного экрана сканирующего электронного микроскопа изменение увеличения достигается за счет изменения амплитуды сканирования электронного луча по поверхности образца.
Если ток сканирующей катушки уменьшить, амплитуда сканирования электронного луча на образце уменьшится, а коэффициент усиления увеличится. Регулировка очень удобна и может плавно регулироваться от 20x до примерно 200000 раз.
2. Разрешение
Разрешение является основным показателем эффективности сканирующей электронной микроскопии.
Разрешение определяется диаметром падающего электронного луча и типом модуляционного сигнала. Совместное определение:
Чем меньше диаметр электронного луча, тем выше разрешение.
Физические сигналы, используемые для визуализации, различаются по разрешению.
Например, электроны SE и BE имеют разные диапазоны эмиссии и разрешения на поверхности образца. Разрешение SE обычно составляет около 5-10нм, а разрешение BE — около 50-200нм.
3. Глубина резкости
Это относится к диапазону способности объектива одновременно фокусировать и отображать различные части неровного образца.
Последняя линза сканирующего электронного микроскопа имеет небольшую угловую апертуру и большое фокусное расстояние, поэтому можно получить большую глубину резкости. Это в 100-500 раз больше глубины резкости обычного оптического микроскопа и в 10 раз больше глубины резкости просвечивающего электронного микроскопа.
Отличительными особенностями SEM являются большая глубина резкости, четкое трехмерное ощущение и реалистичная морфология.
Образцы, используемые для сканирующей электронной микроскопии, делятся на две категории:
1 представляет собой образец с хорошей проводимостью, который обычно сохраняет свою первоначальную форму и его можно наблюдать под электронным микроскопом без или с небольшой очисткой;
2 представляет собой непроводящий образец или образец с потерей воды, выделением газа или усадочной деформацией в вакууме, который необходимо должным образом обработать, прежде чем можно будет проводить наблюдения.
