Применение конфокальных микроскопов в полупроводниковой промышленности
В процессе крупномасштабного-производства полупроводников необходимо разместить на пластине микросхемы интегральных схем, затем разделить их на различные блоки и, наконец, упаковать и припаять. Поэтому точный контроль и измерение размера канавок для резки пластин является важнейшим звеном производственного процесса.
Конфокальный микроскоп — это микроскопическое устройство обнаружения, выпущенное компанией Zhongtu Instrument и широко используемое в процессах производства и упаковки полупроводников. Он может выполнять бес-контактное сканирование и реконструировать трехмерную-морфологию поверхностных элементов сложной формы и крутых канавок лазерной резки.
Конфокальный микроскоп имеет превосходное оптическое разрешение, а благодаря четкой системе визуализации он может детально наблюдать за характеристиками поверхности пластины, например, есть ли на поверхности пластины дефекты, такие как поломка края и царапины. Электрическая башня может автоматически переключаться между различными увеличениями объектива, а программное обеспечение автоматически фиксирует края элементов для быстрого двумерного измерения размеров, тем самым более эффективно обнаруживая и контролируя качество поверхности пластины.
В процессе лазерной резки пластин требуется точное позиционирование, чтобы обеспечить возможность вырезания канавок по правильному контуру на пластине. Качество сегментации пластин обычно измеряется глубиной и шириной режущих канавок. Конфокальный микроскоп серии VT6000, основанный на конфокальной технологии и оснащенный высокоскоростными-модулями сканирования, оснащен профессиональным программным обеспечением для анализа с функциями многозонного и автоматического измерения. Он может быстро восстановить трехмерный-контур лазерной канавки тестируемой пластины и выполнить многопрофильный анализ для получения информации о глубине канала и ширине поперечного-сечения.
