Введение в функции сканирующего электронного микроскопа
Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) — это большой прецизионный инструмент, используемый для анализа морфологии микрорайонов с высоким разрешением. Он обладает характеристиками большой глубины резкости, высокого разрешения, интуитивно понятного изображения, четкого ощущения трехмерности, широкого диапазона увеличения и способности вращать и наклонять исследуемый образец в трехмерном пространстве. Кроме того, он имеет такие преимущества, как широкий выбор типов измеряемых образцов, практически полное отсутствие повреждений или загрязнений исходного образца, а также возможность одновременного получения морфологии, структуры, состава и кристаллографической информации. В настоящее время сканирующая электронная микроскопия широко используется в микроскопических исследованиях в таких областях, как науки о жизни, физика, химия, правосудие, науки о Земле, материаловедение и промышленное производство. Только в области наук о Земле она включает кристаллографию, минералогию, месторождения полезных ископаемых, седиментологию, геохимию, геммологию, микрофоссилии, астрогеологию, геологию нефти и газа, инженерную геологию и структурную геологию.
Хотя сканирующая электронная микроскопия является новинкой в семействе микроскопов, скорость ее развития очень высока из-за ее многочисленных преимуществ.
Прибор имеет высокое разрешение и может наблюдать детали размером около 6 нм на поверхности образца посредством визуализации вторичных электронов. Используя электронную пушку LaB6, его можно улучшить до 3 нм.
Прибор имеет широкий диапазон изменения увеличения и может плавно регулироваться. Таким образом, при необходимости для наблюдения можно выбирать различные размеры полей зрения, а также получать четкие изображения с высокой яркостью, которых трудно достичь с помощью обычной просвечивающей электронной микроскопии, при большом увеличении.
Глубина резкости и поле зрения образца велики, а изображение имеет трехмерный смысл. Он может напрямую наблюдать шероховатые поверхности с большими волнами и неровными изображениями изломов металла образца, давая людям ощущение присутствия в микроскопическом мире.
Приготовление четырех образцов несложное. Пока образцы блоков или порошка слегка обработаны или не обработаны, их можно непосредственно наблюдать под сканирующим электронным микроскопом, который ближе к естественному состоянию вещества.
5. Качество изображения можно эффективно контролировать и улучшать с помощью электронных методов, таких как автоматическое поддержание яркости и контрастности, коррекция угла наклона образца, поворот изображения или улучшение допуска контрастности изображения посредством Y-модуляции, а также умеренная яркость и темнота в различные части изображения. Используя устройство двойного увеличения или селектор изображений, можно одновременно наблюдать на флуоресцентном экране изображения с разным увеличением.
6 могут быть подвергнуты всестороннему анализу. Установите рентгеновский спектрометр с дисперсией по длине волны (WDX) или энергодисперсионный рентгеновский спектрометр (EDX), чтобы он мог работать в качестве электронного зонда и обнаруживать отраженные электроны, рентгеновские лучи, катодолюминесценцию, прошедшие электроны, оже-электроны и т. д. по образцу. Распространение применения сканирующей электронной микроскопии на различные методы микроскопии и анализа микроплощадей продемонстрировало многофункциональность сканирующей электронной микроскопии. Кроме того, также можно анализировать выбранные микроучастки образца, наблюдая за морфологическим изображением; Установив держатель полупроводникового образца, PN-переходы и микродефекты в транзисторах или интегральных схемах можно напрямую наблюдать через усилитель изображения электродвижущей силы. За счет внедрения электронно-компьютерного автоматического и полуавтоматического управления многими электронными зондами сканирующего электронного микроскопа значительно улучшилась скорость количественного анализа.
