Несколько часто используемых методов измерения плоскостности
Плоскостность — один из геометрических допусков, под которым понимается отклонение макровогнуто-выпуклой высоты на поверхности объекта от идеальной плоскости. В традиционных методах обнаружения измерение плоскостности обычно включает в себя: метод измерения пробки / щупа, метод измерения уровня жидкости, метод измерения лазерного плоского интерферометра (метод плоской кристаллической интерферометрии), метод измерения уровня / цифровой метод измерения уровня и закон измерения измерителя.
Метод измерения щупом требует только набора портативных щупов для грубого измерения плоскостности в любое время и в любом месте. В настоящее время многие фабрики все еще используют этот метод для обнаружения. Из-за низкой точности самый тонкий обычный щуп имеет толщину 10 мкм, эффективность обнаружения низкая, результат недостаточно полный, и можно обнаружить только край детали.
Метод уровня жидкости, основанный на принципе работы соединителя, подходит для измерения плоскостности непрерывных или прерывистых больших плоскостей, но измерение занимает много времени и чувствительно к температуре, поэтому он подходит только для плоскостей с низкой точность измерения.
Метод измерения плоского лазерного интерферометра, наиболее типичным применением которого является интерферометрия плоского кристалла. Но в основном он используется для измерения гладких небольших плоскостей, таких как измерительная поверхность микрометра, рабочая поверхность датчика и оптическая линза.
Метод измерения уровня широко используется при измерении прямолинейности и плоскостности поверхности заготовки. Высокая точность измерения, хорошая стабильность, небольшой размер, удобство переноски. Однако при использовании этого метода измерения необходимо многократно перемещать положение прибора и записывать данные каждой точки измерения, что требует много времени, трудоемкости, длительного времени настройки, а процедура обработки данных громоздка.
Типичным применением метрового метода измерения является плоский микрометр и трехкоординатный инструмент, среди которых трехкоординатный инструмент является наиболее распространенным. Во время измерения индикатор перемещается по испытуемому образцу, и данные каждой точки измерения относительно эталона измерения измеряются в соответствии с выбранными точками макета, а затем посредством обработки данных оценивается ошибка плоскостности. Но его эффективность низкая, обычно образец занимает несколько минут, что далеко от ожидаемых 15 частей на миллион.
