Некоторые особенности конфокальной оптической микроскопии
Высокая контрастность, высокое разрешение
В обычном оптическом микроскопе интерференция возникает из-за отраженного света от части вне фокуса, который перекрывается с частью изображения фокальной точки, что приводит к снижению контрастности изображения. Напротив, в конфокальной оптической системе рассеянный свет за пределами фокуса и внутри объектива почти полностью устраняется, в результате чего изображения получаются с очень высокой контрастностью. Кроме того, разрешающая способность микроскопа повышается, поскольку свет дважды проходит через объектив, увеличивая резкость изображения точки.
Функция оптической локализации
В конфокальной оптической системе отраженный свет экранируется микроапертурой в точке, отличной от фокальной точки. Поэтому при наблюдении трехмерного образца изображение формируется так, как если бы образец был срезан фокальной точкой, и этот эффект называется оптической локализацией, что является одной из особенностей конфокальной оптической системы.
Функция памяти смещения фокуса
Отраженный свет за пределами фокальной точки блокируется микропереходом, так что все точки на изображении, создаваемом конфокальной оптической системой, можно считать совпадающими с фокальной точкой. Путем перемещения стереосэмпла в направлении оси Z (оптической оси) и накопления изображений в памяти получается изображение, в котором все точки семпла совпадают с точкой фокуса. Функция неограниченного углубления глубины фокуса таким образом называется функцией движущейся памяти.
Функция измерения формы поверхности
Добавив схему регистрации высоты поверхности к функции смещения фокуса, можно бесконтактно измерить форму поверхности образца. С помощью этой функции можно записать координаты по оси Z максимального значения яркости каждого пикселя и на основе этой информации получить информацию о форме поверхности образца.
Функция высокоточного измерения микроразмеров
В блоке приема света используется датчик изображения 1D CCD, который обеспечивает высокоточные измерения без влияния наклона сканирования сканера. Кроме того, функция памяти смещения фокуса с регулируемой глубиной фокуса (заглублением) позволяет исключить ошибки измерения, вызванные смещением фокуса.
