Система визуализации электронного микроскопа
1. Объектив и стигматор
Линза объектива является первой линзой формирования изображения в системе формирования изображения. Производительность электронного микроскопа в основном определяется оптическими характеристиками объектива. Любые дефекты линзы объектива будут дополнительно увеличены другими линзами в системе формирования изображения. Поэтому требуется, чтобы аберрация объектива была как можно меньше, а увеличение было достаточно высоким, а объектив с сильным возбуждением, коротким фокусным расстоянием (1,5-3} мм и диафрагмой объектива обычно Используется для уменьшения сферической аберрации. Поскольку оптическая апертура слишком мала, разрешение объектива будет уменьшено из-за эффекта дифракции, а интерференция электронного луча будет сильной из-за эффекта загрязнения оптического края, поэтому оптическая апертура не может быть слишком маленькой. .
Стигматизатор является важной частью, обеспечивающей улучшение разрешения объектива. Он использует магнитное поле с регулируемой силой и ориентацией для коррекции осевого астигматизма, вызванного неосесимметричной линзой объектива.
Обычно используемый электромагнитный стигматизатор состоит из двух групп по четыре пары электромагнитов, равномерно установленных вокруг зазора между полюсными наконечниками. Образующиеся два эллиптических корректирующих магнитных поля перпендикулярны друг другу, и за счет изменения интенсивности возбуждения и направления магнитного поля двух наборов электромагнетиков можно сформировать не вращательно-симметричное корректирующее магнитное поле. Если его сила равна полю астигматизма линзы, а направления перпендикулярны друг другу, он может устранить астигматизм.
2. Промежуточное зеркало и проекционное зеркало
Промежуточное зеркало представляет собой слабомагнитную линзу с большим фокусным расстоянием и переменным увеличением. Внутреннее отверстие полюсного наконечника больше, а увеличение составляет от 0-20. Когда увеличение больше 1, оно используется для увеличения зеркала объектива; при увеличении менее 1 используется для уменьшения зеркала объектива.
Проекционное зеркало представляет собой сильномагнитную линзу с коротким фокусным расстоянием, в которой используются симметричные вверх и вниз полюсные башмаки с малой апертурой для получения большого увеличения. Проекционное зеркало имеет определенный ток возбуждения, который играет роль увеличения среднего изображения и проецирования его на флуоресцентный экран.
3. Трехкаскадное усиление
Наибольшее увеличение электронного микроскопа определяется такими факторами, как производительность прибора, разрешение фотобазы (или флуоресцентного экрана) и т. д. Вообще говоря, система формирования изображения со вторичным увеличением может получить электронное изображение, увеличенное примерно на 200, 000 раз. Объектив увеличивает детали образца в 100 раз и формирует изображение на зеркале объектива, а промежуточное зеркало увеличивает изображение объектива в 20 раз и отображает его на проекционном зеркале; проекционное зеркало увеличивает изображение промежуточного зеркала в 100 раз и формирует изображение на флуоресцентном экране. Регулировка количества усиленных монахов может осуществляться путем изменения тока возбуждения средней вставки. После того, как ток возбуждения среднего города изменен, ток возбуждения линзы объектива также должен быть соответствующим образом изменен, чтобы гарантировать, что зеркальная плоскость линзы объектива смешивается со средней монтажной поверхностью, чтобы получить четкое изображение объектива. фокус.
В трехэтапной системе визуализации при изменении тока возбуждения объекта изображение объектива может быть получено под средней оправой.
Объектное зеркало представляет собой «виртуальный объект», который формируется в виде небольшого реального изображения на поверхности объекта А проекционного зеркала. Проекционное зеркало отображается на флуоресцентном экране, так что можно получить электронное изображение, увеличенное от тысяч до десятков тысяч раз. Искажение изображения, создаваемое этим методом, может быть уменьшено взаимной компенсацией бочкообразной дисторсии промежуточного зеркала и подушкообразной дисторсии проекционного зеркала.
Если линза объектива закрыта, а промежуточное зеркало используется вместо города объекта для изображения, увеличение может быть уменьшено примерно до 100-300 плюс, и могут быть получены изображения с большим полем зрения.
