Введение в устройство электронного микроскопа
Электронный микроскоп состоит из трех частей: корпуса объектива, вакуумной системы и блока питания. Корпус объектива в основном включает в себя электронные пушки, электронные линзы, держатели образцов, флуоресцентные экраны и механизмы камеры. Эти компоненты обычно собираются в колонну сверху вниз; вакуумная система состоит из механических вакуумных насосов, диффузионных насосов и вакуумных клапанов. Газопровод соединен с оправой объектива, а силовой шкаф состоит из высоковольтного генератора, стабилизатора тока возбуждения и различных блоков управления регулировкой.
◆Электронный объектив
Электронная линза является наиболее важной частью тубуса объектива электронного микроскопа. Он использует пространственное электрическое поле или магнитное поле, симметричное оси оправы объектива, чтобы согнуть дорожку электрона к оси, чтобы сформировать фокус. Его функция аналогична функции стеклянной выпуклой линзы для фокусировки луча, поэтому он называется электронным. объектив. В большинстве современных электронных микроскопов используются электромагнитные линзы, которые фокусируют электроны с помощью сильного магнитного поля, создаваемого очень стабильным постоянным током возбуждения, проходящим через катушку с полюсными башмаками.
◆Электронная пушка
Электронная пушка представляет собой компонент, состоящий из горячего катода с вольфрамовой нитью, сетки и катода. Он может излучать и формировать электронный пучок с равномерной скоростью, поэтому требуется стабильность ускоряющего напряжения не менее одной десятитысячной.
