Название и функции каждой части конфокального микроскопа
Основанный на принципе конфокальной технологии, конфокальный микроскоп используется для измерения поверхности различных прецизионных устройств и материалов на микро- и наноуровне и может напрямую отображать морфологию поверхности образцов материалов с поперечным разрешением до 1 нм. и разрешение по оси Z до 0,5 нм. Он может не только измерять морфологию поверхности образца и обеспечивать функцию определения микроскопической морфологии измерения размера профиля, но также выполнять пять основных аналитических функций, таких как анализ шероховатости, анализ геометрического профиля, структурный анализ, частотный анализ и функциональный анализ. анализ. Также предусмотрен анализ шероховатости, анализ геометрического профиля, структурный анализ, частотный анализ и функциональный анализ.
Анализ шероховатости включает полнопараметрический анализ в соответствии с шероховатостью линии ISO4287, шероховатостью поверхности ISO25178, плоскостностью ISO12781 и т. д.; анализ геометрического контура включает измерения высоты ступеньки, расстояния, угла, кривизны и других характеристик, а также оценку прямолинейности, округлости и допусков формы; структурный анализ включает объем отверстий, глубину желоба и т. д.; частотный анализ включает в себя анализ направления зерна и спектральный анализ; функциональный анализ включает в себя направленный и частотный спектральный анализ; частотный анализ включает в себя направленный и частотный анализ спектра; Также доступен функциональный анализ. Частотный анализ включает анализ направления текстуры и спектральный анализ; Функциональный анализ включает параметры SK и параметры объема.
Структура конфокального микроскопа в основном состоит из: микроскопа, источника лазерного света, сканирующего устройства, детектора, компьютерной системы (включая сбор, обработку, преобразование данных, прикладное программное обеспечение), устройства вывода изображения, оптического устройства и конфокальной системы.
Конфокальный микроскоп имеет широкий спектр применения в керамике, металлах, полупроводниках, микросхемах и других областях материаловедения и контроля производства. Конфокальный микроскоп основан на принципе конфокальной микроскопии, бесконтактном сканировании поверхности устройства и создании 3D-изображения поверхности, с помощью системного программного обеспечения на обработке и анализе данных 3D-изображения поверхности устройства, чтобы получить 2D, 3D параметры, отражающие качество поверхности устройства, для достижения 3D-измерения морфологии поверхности устройства.
Может широко использоваться в производстве полупроводников и проверке процесса упаковки, электронном стеклянном экране 3C и его прецизионных деталях, оптической обработке, производстве микронаноматериалов, автомобильных деталях, устройствах MEMS и других сверхточных обрабатывающих предприятиях и аэрокосмической промышленности, научно-исследовательских институтах и другие поля. Измеряйте и анализируйте профиль поверхности, поверхностные дефекты, износ, коррозию, плоскостность, шероховатость, гофрировку, зазор пор, высоту ступеньки, деформацию изгиба, обработку и другие особенности поверхности различных изделий, компонентов и поверхностей материалов.
