Применение конфокальных микроскопов в полупроводниковой промышленности
В процессе крупномасштабного-производства полупроводников необходимо разместить на пластине микросхемы интегральных схем, затем разделить их на различные блоки и, наконец, упаковать и припаять. Поэтому точный контроль и измерение размера канавок для резки пластин является важнейшим звеном производственного процесса.
Конфокальный микроскоп серии VT6000 — это микроскопическое инспекционное оборудование, выпущенное компанией Zhongtu Instrument и широко используемое в процессах производства и упаковки полупроводников. Он может выполнять бес-контактное сканирование и реконструировать трехмерную-морфологию поверхностных элементов сложной формы и крутых канавок лазерной резки.
Конфокальный микроскоп серии VT6000 обладает превосходным оптическим разрешением и может детально наблюдать характеристики поверхности пластины с помощью четкой системы визуализации, например, проверять наличие дефектов, таких как поломка краев и царапины на поверхности пластины. Электрическая башня может автоматически переключаться между различными увеличениями объектива, а программное обеспечение автоматически фиксирует края элементов для быстрого двумерного измерения размеров, тем самым более эффективно обнаруживая и контролируя качество поверхности пластины.
В процессе лазерной резки пластин требуется точное позиционирование, чтобы обеспечить возможность вырезания канавок по правильному контуру на пластине. Качество сегментации пластин обычно измеряется глубиной и шириной режущих канавок. Конфокальный микроскоп серии VT6000, основанный на конфокальной технологии и оснащенный высокоскоростными-модулями сканирования, оснащен профессиональным программным обеспечением для анализа с функциями многозонного и автоматического измерения. Он может быстро восстановить трехмерный-контур лазерной канавки тестируемой пластины и выполнить многопрофильный анализ для получения информации о глубине канала и ширине поперечного-сечения.
