Электронный микроскоп состоит из нескольких частей.
Электронный микроскоп состоит из трех частей: корпуса объектива, вакуумного устройства и блока питания.
1. Корпус объектива в основном включает в себя источники электронов, электронные линзы, держатели образцов, флуоресцентные экраны и детекторы. Эти компоненты обычно собираются в цилиндр сверху вниз.
Электронная линза используется для фокусировки электронов и является наиболее важным компонентом тубуса электронного микроскопа. Как правило, используются магнитные линзы, а иногда также используются электростатические линзы.
2. Вакуумное устройство используется для обеспечения состояния вакуума в микроскопе, чтобы электроны не поглощались и не отклонялись на своем пути. Он состоит из механического вакуумного насоса, диффузионного насоса и вакуумного клапана и соединяется с оправой объектива через выхлопную трубу.
3. Силовой шкаф состоит из генератора высокого напряжения, стабилизатора тока возбуждения и различных блоков управления регулировкой.
